空污治理

机台产生的酸碱性废气、挥发性有机废气是半导体制造过程产生的主要空气污染物，芯联集成通过多段处理，最大限度降低其直接排放到大气中从而对环境造成负面影响。当前公司一共配有21套酸性废气处理系统、10套碱性废气处理系统、11套有机废气处理系统、6套含砷废气处理系统。

对于酸碱性废气，芯联集成通过线上第一段洗脱塔Local Scrubber进行初步洗脱后，经由二次配排气风管送至中央废气处理设备，处理达标后排放至大气中，并每半年委托第三方进行排放监测。

对于挥发性有机废气VOCs，经过冷凝处理后，经由主排气风管送入沸石转轮系统浓缩吸附，后将高浓度气体解吸进行TO燃烧，有效降低其排放量和天然气使用量。该项目VOCs脱除率可达95%，公司还为VOCs的处理安装在线监测设备，与环保局联网实时监测排放数据，确保排放达标。