水资源管理

半导体制造行业对超纯水的需求已经成为一个日益严峻的挑战，外部利益相关者对水资源管理议题的关注度也在近年不断升高。

水资源作为半导体制程中不可或缺的重要资源，芯联集成在运营过程中，始终追求用水效率极大化，降低价值链对水风险的敏感度。

由公司ESG工作组与公司厂务部门推动，芯联集成每年订定水资源管理目标，提升水回收使用率和降低水资源使用强度。

芯联集成积极落实废水资源化管理，使用水回收技术以提升用水效率、降低废水排放量。根据制程废水的成分与来源，公司将各类制程废水分流并输送至不同的系统处理、回收。当前公司最主要的几个水回收系统有：

01 酸碱回收系统：将机台排放的酸碱废水通过工艺处理后重新回到纯水系统供机台使用或去中水罐供冷却水塔用，该系统设计处理水量为4,000m³/d，回收率为70%。

02 LS回收系统：处理机台废气scrubber所产生废水，经系统工艺处理后再循环至洗涤塔使用。

03 FR/LR回收系统：用于机台首道末道冲洗水，经处理后重新回到UPW系统经工艺处理后供机台使用。

针对无法回收再利用的废水，芯联集成依照《电子工业水污染物排放标准》重点关注排污各项指标，配有酸碱废水处理系统、含氨废水处理系统、含氟废水处理系统、研磨废水处理系统以及重金属废水处理系统，通过双重仪表实时监测，确保废水达到可对外排放的国家标准。